产品概述：

CVD气相沉积炉用于烧结碳碳及碳陶复合材料产品，设备通过热解碳源气体，而使预制体获得致密处理或涂层处理，其中快速气相沉积设备（CVI），具有更高的碳利用率，以及更高的生产效率。该化学气相沉积炉（碳化硅）可用于以三氯甲硅烷（MTS）为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。

化学气相沉积炉主要特点：

1、采用先进的控制技术，能精密控制气体的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

2、采用石墨箱密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

3、采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

4、对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

5、采用防腐蚀真空机组设计，持续工作时间长，维修率低。

6、独特的炉内工件旋转机构，能有效的保证产品沉积材料的均匀性。

应用范围：

气相沉积炉可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD气相沉积处理。

公司产品优势：

1，自动化程度高，可实现一键置换（炉内抽真空，冲氩气过程），运行过程中全程水电气自动监控，触摸屏仿真随时可观察设备运行状态，设备报警指示，升温曲线，开关机操作都可在触摸屏上查看和操作。

2，真材实料，炉体内胆和管道全部采用316耐腐蚀不锈钢或者特氟龙防腐喷涂，出厂前经过检漏测试。抗腐蚀和密闭性能好。

3，安全高，炉体部分安装自动防爆阀，安全可靠。感应器部分单独安装流量开关，实时监控水流情况。电源严格有效的按要求设定过电流值，过电压值。

4，设备集成监控界面可在PC端远程监控，管理者可以随时观察设备运行状态，调取设备运行记录与工艺参数。

气相沉积炉规格：

产品展示：